地球温暖化対策の推進に関する法律施行令
平成十一年四月七日 政令 第百四十三号

地球温暖化対策の推進に関する法律施行令の一部を改正する政令
平成二十七年三月三十一日 政令 第百三十五号

-本則-
-改正附則-
-その他-
三ふっ化窒素の製造 算定排出量算定期間において製造された三ふっ化窒素の量(トンで表した量をいう。)に、当該三ふっ化窒素の一トン当たりの製造に伴い排出されるトンで表した当該三ふっ化窒素の量として環境省令・経済産業省令で定める係数を乗じて得られる量
半導体素子等の製造 算定排出量算定期間において半導体素子、半導体集積回路若しくは液晶デバイスの加工の工程におけるドライエッチング又はこれらの製造装置の洗浄に使用された三ふっ化窒素の量(トンで表した量をいう。)に、当該三ふっ化窒素の一トン当たりの使用に伴い排出されるトンで表した三ふっ化窒素の量として環境省令・経済産業省令で定める係数を乗じて得られる量から、当該使用された三ふっ化窒素のうち適正に処理されたものの量(トンで表した量をいう。)を控除して得られる量